1、保持凈化車間達到一定的濕度，大家都知道北方地區或在干燥的冬季，所以靜電產生的故障要遠遠大于在東南沿海地區或其他季節，因此在一些重要場所，例如 計算機機房、半導體凈化車間、電子儀器的裝配車間應考慮保持一定濕度的問題，特別是對那些封閉形的空調房間，更應有一定控制濕度的設備。
2、半導體器件應盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中，這種防靜電盛放器有良好導電性能，能有效防止靜電的產生。當然，有條件的應盛放在金屬盛放器內或用金屬箔包裝。
3、使用離子風槍、離子頭、離子棒等設施，使在一定范圍內防止靜電產生。
4、鋪設防靜電地板或地毯。目前已有這種具有一定導電性能的塑料地板或地毯產品，能十分有效抑制由于人的行走產生靜電。
5、對于操作人員應在手腕上帶防靜電手帶，這種手帶應有良好的接地性能，這種措施最為有效。